教授

窪寺 昌一

クボデラ ショウイチ

Profile

専門分野

原子・分子・量子エレクトロニクス・プラズマ、応用光学・量子光工学、電子デバイス・電子機器

研究テーマ
  1. 高強度真空紫外レーザーの開発と応用
  2. 次世代半導体露光装置のための極端紫外光源の開発
  3. 高圧希ガス内での希ガスエキシマの生成
  4. 光ファイバーセンサーのためのレーザープロセシング
担当科目

基礎光物性、レーザ科学入門、国際交流論、演習Ⅰ・Ⅱ

専門分野

レーザ工学,量子電子工学

担当科目

レーザ応用工学

主な経歴・職歴・学歴

慶應義塾大学理工学部電気工学科卒業(1985年3月)
慶應義塾大学大学院理工学研究科修士課程電気工学専攻修了(1988年3月)
米国ライス大学大学院工学研究科博士課程修了(1991年5月)
理化学研究所レーザー科学研究グループ基礎科学特別研究員(1991年6月)
宮崎大学工学部助教授(1994年1月)
宮崎大学地域共同研究センター助教授(2000年4月)
宮崎大学工学部教授(2006年3月)
創価大学理工学部教授(2016年4月)

所属学会・団体

応用物理学会(Japan Society of Applied Physics)
レーザー学会(Laser Society of Japan)
電気学会(Institute of Electrical Engineers of Japan)
米国光学学会(Optical Society of America, OSA)
米国物理学会(American Physical Society, APS)
国際電気電子工学会(Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE) Photonics Society

主な論文・著書

加来昌典,甲藤正人,横谷篤至,窪寺昌一,”光電界電離アルゴンエキシマ増幅器を用いた超短パルス真空紫外レーザー”,レーザー研究, vol. 43, no. 8, pp. 537-541 (August 2015).
Masanori Kaku, Daichi Kai, Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, and Wataru Sasaki, “Surface analysis by photo-stimulated desorption using tunable VUV radiation”, Appl. Phys. B, vol. 119, issue 3, pp. 427-433, (May 2015).
Masahito Katto, Masanori Kaku, Atsushi Yokotani, Kenzo Miyazaki, Noriaki Miyanaga, and Shoichi Kubodera, “Development of ultrashort pulsed VUV laser and its applications”, Journal of Laser Micro/Nanoengineering (JLMN), vol. 9, No. 2, pp. 108-112 (July 2014).
H. Daido, Y. Suzuki, T. Kawachi, T. Fukuda, T. Nakagiri, M. Kaku, and S. Kubodera, “Demonstration of partially transparent thick metallic sodium in the vacuum ultraviolet spectral range”, Opt. Exp. vol. 21, no. 23, pp. 28182-28188 (November 2013).
Yuta Matsuura, Masanori Kaku, and Shoichi Kubodera, “Enhancement of extreme ultraviolet radiations from a laser-produced plasma using copper-tungsten alloy”, Appl. Phys. B vol. 110, no. 3, pp. 397-400 (March 2013).
加来昌典,松浦悠太,窪寺昌一,”合金ターゲットを用いた極端紫外域におけるレーザー生成プラズマからの発光強度の増加”,電気学会論文誌, vol. 132, no. 8, Sec. C, pp. 1283-1286 (August 2012).
Masanori Kaku, Yusuke Sato, and Shoichi Kubodera, “Quasi-point incoherent ArF* excimer emission source at 193 nm using a laser-produced plasma”, Appl. Phys. B vol. 107, no. 1, pp. 85-89 (April 2012).
Masanori Kaku, Shinya Harano, Ryota Matsumoto, Masahito Katto, and Shoichi Kubodera, “Amplification properties of vacuum ultraviolet Ar2* produced by infrared high-intensity laser”, Opt. Lett. vol. 36, no. 14, pp. 2719-2721 (July 2011).
Masahito Katto, Hironari Zushi, Wataru Nagaya, Shinya Harano, Ryota Matsumoto, Atsushi Yokotani, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, and Noriaki Miyanaga, “Development of ultra-short pulse VUV laser system for nanoscale processing”, Appl. Phys. A vol. 101, no. 2, pp. 297-301 (November 2010).
Takashi Kurosawa, Akira Hosotani, Tadashi Ohmiya, Minoru Horikoshi, Masao Kanazawa, Masahito Katto Masanori Kaku, and Shoichi Kubodera, “Separation technique of raisins and stems utilizing characteristics of polarization”, Jpn. J. Appl. Phys. vol. 49, no. 9, pp. 098001-1-2 (September 2010).
Masahito Katto, Kazuyoshi Oda, Masanori Kaku, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Noriaki Miyanaga, and Kunioki Mima, “Generation of subpicosecond vacuum ultraviolet pulses at 126 nm by using harmonics of a subpicosecond Ti:sapphire laser”, Opt. Commun. vol. 283, issue 3, pp. 414-416 (February 2010).